基础平板(基础平台)允许小许误差，用两个平行的理想平面包容实际表面，并使两理想平面间的距离为最小，此最小距离为平面度误差值；用一个理想平面与实际表面相切，且与实际表面之间的最大距离为最小，此距离为平面度值；最小二乘方原则将一个理想平面按实际表面的趋向，置于实际表面的中部，并使实际表面上各点到理想平面的距离平方和为最小，以这个最小二乘方中心平面作为评定基面，各测点对此平面偏差中最大值与最小值之差为被测表面平面度误差值；以通过被测表面的一条对角线而平行于另一条对角线的平面作为评定基面，各测点对此平面偏差中最大值与最小值之差为被测面平面度误差值；利用测量闭合环的平差原理，使各被测点平差后的新位置到测量基面的距离变为各点相对于理想平面的距离。
这时理想平面就是通过原点的自然水平面；三点法原则规定理想平面通过实际表面上相距最远且不在一条直线上的三点形成的平面为评定基面，以各测点距此平面偏差中最大值与最小值之差为所求被测表面的平面度误差值；以实际表面任一截面最大直线度误差作为平面度误差值。